半导体专用 无氧氮气烘箱 真空干燥箱 ppm级别650升
一、产品概述：
适用于航空、汽车、工矿企业、家电、实验室、科研单位及大专院校等领域对其产品及材料进行高温烘烤、温度干燥、低真空密封试验、无氧处理，高温去应力、高温固化等应用。
二、运行（工作）原理：
1、操作屏设定工作真空度与温度值，控制系统发出指令电磁阀与真空泵自动工作，到达设定压力值真空系统停止工作，放气电磁阀自动打开解除真空。
2、当温度未达到设定值时继续给加热器系统指令，加热板温度到达后可选择保温，保温终了，当设定值小于测量值时，控制器给冷却循环系统指令，自动降温开始，到达设定值是保持或者继续降温。
二、技术参数：
型号 | GZF-6630 |
产品名称 | 高温真空烘箱 |
控温范围 | RT+15～400℃ |
温度分辨率 | ±0.1℃ |
温度波动度 | ±0.3℃ |
传感器精度 | ±0.1℃ |
温度均匀度 | ±5℃ |
氧气含量 | 在线检测范围1ppm~25% |
氧气精度 | 0~1000ppm±1ppm，1%~25%±0.1% |
真空度控制范围 | 0-99.99KPa |
设计极限真空度 | 10Pa |
升温速率 | 1~5℃/min |
降温速率 | 0.5~3℃/min |
工作室尺寸（深*宽*高） | 680mm*680mm*1370mm |
外部尺寸（深*宽*高） | 约980mm*1600m*1620mm（不含脚轮） |
外壳材料 | 优质冷轧钢板，表面静电喷塑 |
内胆材料 | 优质SUS316L不锈钢板 |
搁 板 | 标配12块，最大负20Kg， |
加热功率 | 25000W |
电 源 | AC380V/50HZ |
四、产品持点：
1、 自动抽真空：通过PLC继电器来控制自动抽真空，且实现延时抽真空及定时开关机。
2、 抽气管路装有电磁阀。可设置定时开启真空泵，自动抽气，定时停机功能。
3、 高精度微电脑PLC程序控温仪，具备12个温度模块控制通道，温度独立控制，采用PID与经验值模糊控制技术，控温精确、波动度小，工作温度任意设定，数据记录储存，USB数据导出功能，故障报警查询功能。
4、 PLC界面具备选择固定值的温度与真空度模式与分段保温或者温度斜率控制模式两组。
5、 各通道运行温度、真空度、时间自动记录，可查询，可USB拷贝
6、 R485/232通讯协议与通讯接口（可选用以太网口连接通讯，对接上位机系统）
7、 数字独立限温保护，接地保护，漏电保护，真空泵过热保护，循环电机过载保护。
