防爆防腐 真空烘箱 特氟龙涂层PTFE 半导体行业用
一、产品概述：
本设备适用于芯片、航空、汽车、工矿企业、家电、实验室、科研单位及 大专院校等领域对其产品及材料进行高温烘烤、温度度干燥、低真空密封 试验、无氧处理，高温去应力、高温固化等应用。
二、技术参数：
产品名称 | 半导体真空烘箱 |
控温范围 | RT+15~150℃ |
温度分辨率 | ±0.1℃ |
温度波动度 | ±0.3℃ |
传感器精度 | ±0.1℃ |
真空度控制范围 | 100KPa~0.1KPa |
设计极限真空度 | 100Pa |
真空压力定义 | 绝对压力 |
内胆尺寸 | 450*450*450mm |
加热功率 | 3000W |
真空箱电源 | AC380V/50Hz |
载物隔板 | 2块（特氟龙材质） |
氮气流量控制 | 0~100L/min 手动可调 |
设备自重 | 200Kg |
